REFERANS PROJE 02

Dikey Yüksek Vakum Odası

Plazma, kaplama, test ve Ar-Ge gibi kontrollü düşük basınç ortamı gerektiren uygulamalar için oda, pompalama grubu ve ölçüm altyapısıyla birlikte tasarlanan sistemler.

Hedef basınca göre tasarımVakum ölçüm entegrasyonuPompa ve hat entegrasyonu
TEKNİK ÖZELLİKLER

Yüksek vakum odası teknik tablosu

Oda Ölçüsü320 × 300 mm
Oda TipiDikey silindirik vakum odası
Oda Malzemesi304 kalite paslanmaz çelik gövde şeffaf akrilik kapak
Vakum Seviyesi≈ 1,33 × 10−3 mbar
Oda ContasıL tipi conta
Vakum PortuNW40
Havalandırma Portu1,0″ NPT
Vakum Ölçüm Portu1/4″ NPT
Kaçak Oranı≈ 1,01 × 10−8 mbar·L/s (helyum)
KULLANIM AMACI

Kontrollü ve tekrarlanabilir bir vakum ortamı oluşturur

Yüksek vakum odaları, atmosferik gaz yükünün azaltılması ve prosesin temiz, kontrollü koşullarda yürütülmesi gereken uygulamalar için kullanılır. Oda hacmi, hedef basınç, proses gazı, malzeme yükü ve çevrim süresi birlikte değerlendirilerek sistemin ana yapısı belirlenir.

ZEROVAC projelerinde oda; pompa teknolojisi, vakum ölçüm elemanları, vanalar, bağlantı portları, gözetleme camı, hat elemanları ve taşıyıcı şaseyle birlikte tek bir sistem olarak ele alınır. Nihai konfigürasyon ve ulaşılabilir vakum seviyesi, uygulamanın gerçek çalışma koşullarına göre projelendirilir.

KULLANIM YERLERİ

Hassas üretim ve araştırma prosesleri

  • Plazma işlemleri, yüzey aktivasyonu ve temizleme
  • İnce film ve özel kaplama uygulamaları
  • Ar-Ge laboratuvarları ve malzeme testleri
  • Elektronik, sensör ve optik bileşen geliştirme
  • Vakum altında gaz alma, kurutma ve şartlandırma
  • Analitik cihazlar ve projeye özel test düzenekleri